半導體突破奈米 成大低成本研發埃米受矚目
2024/07/23 10:25
〔記者洪瑞琴／台南報導〕目前半導體製程主要是奈米等級，但產業界持續朝向更微小的
「埃米（奈米的 10 分之 1）」推進，
國立成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱團隊利用自行組裝的設備，發揮車庫創業精神，讓細小的半導體分子能自動整齊排列在奈米溝槽內，可操作精度達到埃米等級，這項成果已發表在國際期刊，受到國際矚目。研究成果發表在國際高分子領域的一流期刊 Macromolecules。團隊最自豪的是學生們靠
著自行組裝的便宜設備，研發最先進的技術。徐邦昱表示，在研發的過程中需要用到許多
先進儀器，但動輒上千萬元，在工學院與材料系的支持下，學生們以較少經費、自行動手
組裝設備。
團隊成員包括材料系碩士生，楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承，
整個實驗室裡都是自行組裝的設備，像是結合極低溫、微拉曼散射與可見光吸收3個系統的設備，市面上根本找不到，即使有機會買到也要上千萬元，但團隊花了200萬元就組裝出來，而先進製程需要用到的無光罩雷射微影系統，市售價格600到1000萬元，團隊則是花了20多萬元就組裝出。徐邦昱表示，目前半導體製程主要是在微小的基板上，依靠相近的原子晶格，透過高真空磊晶設備控制長出晶體，再蝕刻提昇精準度，要讓細小的分子乖乖聽話，長在該長的地方，很不容易，因此才需要價格昂貴的設備，營造潔淨單純的反應環境。目前已達到小於3奈米（10億分之1公尺）的線寬精度，但持續推向埃米（10 埃米等於 1 奈米）精進，是產業的必然，目前大家都在努力中。徐邦昱說明，這項研究成果廣受國際注目的原因，在於打通了埃米級操作分子的多項技術
瓶頸，成功地大面積量化操作液相分子有序化磊晶。定量化控制複雜的分子間交互作用行
為，克服過往認為不可操作的分子運動，將材料的操作精度推進至埃米尺度。
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electronicyi1樓埃 沒有米吧...？ 07/23 11:03
cosmite2樓好厲害 07/23 11:03
mianbowhow3樓台積收 07/23 11:55
jerrylee6664樓有再現性嗎？ 07/23 12:00
F20V5樓這個強，台積電應該要資助這學校才對 07/23 12:13
→ BoXeX6樓沒再現性論文不好過吧 不過這些應該真的GG全收了 07/23 12:13
→ BoXeX7樓有種默默的哀傷 明明做到頂尖卻只有賣肝公司能進 07/23 12:13
ijk18樓厲害 畢業保送GG產線製程 07/23 12:28
edison1069樓產線留好您的位置 07/23 12:36
asd7897010樓埃就埃 埃米是什麼小 07/23 12:38
wiesgame11樓蛤…碩班不都這樣玩嗎？特別的點是？ 07/23 12:43
→ venomsoul12樓埃米是殺小啦 07/23 12:49
QuantumHsia13樓記者不懂別瞎掰單位名稱 07/23 13:28
→ wolf676614樓記者真逗 07/23 13:42
by1915樓有對岸手磨5奈米厲害嗎？ 07/23 13:47
Barrage16樓台灣高教是真的窮 07/23 14:13
BensonLinZW17樓成大和台積早就在合作了 07/23 14:44
randystock18樓埃米納姆？ 07/23 15:02
wju123019樓這群人不考慮先開公司賣儀器嗎 XD 07/23 15:03
boy352620樓推19樓，真的！這才是遠見。應該趕快註冊的弄一弄 07/23 15:16
DuskStan21樓這故事我看過 研究到後面 他老婆會誤觸設備縮小消 07/23 15:23
→ DuskStan22樓失在次元裡 07/23 15:23
bettyangel23樓包子現在又騙烏克蘭跟他合作偷技術= = 07/23 15:43
bettyangel24樓以及用此破壞民主國家 07/23 15:53
→ jack52925樓教授準備收割 07/23 16:19
qoo6060626樓埃米是三小 07/23 16:22
→ houseguy27樓米不是m嗎？ 07/23 17:14
neil061128樓尊嘟甲嘟？ 07/23 17:19
QooQooQ29樓不能這樣算吧....市售設備的價格是加上利潤成本研發 07/23 17:23
→ QooQooQ30樓費用，學校搞得是純算買東西的費用...你把學校的人 07/23 17:24
