CMP領域的各位先進大家好，
最近在研究CMP的重要性及未來的發展趨勢，同時也想深入了解如何制定slurry和clean的
配方。
目前有找到一份市場報告，但價格高達5000美元，
https://www.gii.tw/report/if1473283-cmp-equipment-consumables-market-analysis.
html
因此想請教各位先進，是否有推薦的CMP權威書籍或相關文獻可以參考？
先行感謝各位的寶貴分享，感恩！
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[請益] CMP知識
工作
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CMP領域的各位先進大家好，
最近在研究CMP的重要性及未來的發展趨勢，同時也想深入了解如何制定slurry和clean的
配方。
目前有找到一份市場報告，但價格高達5000美元，
https://www.gii.tw/report/if1473283-cmp-equipment-consumables-market-analysis.
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先行感謝各位的寶貴分享，感恩！
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→ GUNDAM1樓
09/20 15:34
09/20 15:34→ douge2樓樓上大大專業 09/20 16:47
→ 3樓謝一樓鋼彈大 09/20 18:00
bagayala4樓真好奇5000美刀是寫出三小 09/20 19:08
→ GUNDAM5樓12年前買1550。現在博客來賣12482！國外定價USD 2 09/20 23:42
→ GUNDAM6樓26，也漲太多了 09/20 23:42
kyle52417樓上網找電子版應該不難吧 09/21 08:50
→ sc18樓半導體CMP圖書館有書 09/24 09:09