光阻Photoresist就是照光會反應的材料,沒什麼困難的概念
在半導體上從低階到高階都會有,現在日本市佔大的就高階的光阻
大概佔90%以上，都是信越 JSR TOK 富士軟片跟住友占走
最高階的EUV光阻,信越跟JSR跑在前面。
日本的有機合成經驗多，且材料純度高,做食品或味素的公司做電子
材料也可以賣很好。然後早起就進入光反應樹脂的市場，累積大量開發
與合成經驗當然越走越遠，專利也越寫越多
不過現在光阻的基礎骨幹結構與配方都寫在Paper上，也不是甚麼新東西
材料現在有用MI在模擬，配方與結構遲早被摸出來。
剩下只有繞過專利惹，如果不理專利的話應該難度不會太高。
但是當然會不會只有配方這麼簡單，每個layer的特性都要做調整
差幾奈米的pattern效能天差地遠。
除了配方以外，量產與純化標準都高到不行，雜質含量也是0後面好幾個0的程度
量產製造的與純化要達到這個要求,know how也是很多,連環境也要高等的無塵室才行。
這些也是提早進入市場所累積出來的經驗,現在EUV的技術與貨物出口都要經過日本政府
審查同意，連開發人員都要身家調查才給摸，拿來當貿易武器的東西真的不一樣。
最後，最重要的是，要有FAB給你測，晶片製造商很難讓一個沒有經驗與信賴性的
原料供應商測光阻，不知道品質與量產能力，還沒有實績；如現在EUV的測試因為材料
供應商沒有EUV的tool，只能給有tool的客戶或是實驗室測，整個拉長了開發時間；如果
有新來的供應商應該沒甚麼空間能夠生存。
所以自然就只剩下這些供應商存在了。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.102.210.72 (日本)※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1670385914.A.EE6.html→ sc11樓做晶圓代工有產業升級條例晶片法政策補貼 光阻液無 12/07 12:38
→ sc12樓日系都是Vendor代理;理工科系進產線三寶是大宗 12/07 12:38
→ abyssa14樓這個事件應該會讓後進者門檻又拉高 12/07 12:59
cityhunter045樓別那麼認真回廢文好嘛 12/07 13:03
magamanzero6樓認真的話 上次GG有個材料發生問題的事件 可以看看 12/07 13:09
→ magamanzero7樓那會影響良率很嚴重的 12/07 13:09
→ odahawk8樓主管一句話「換了之後出問題誰負責」就不會有人試了 12/07 13:36
daredwolf9樓推拉 12/07 13:36
→ faniour10樓開頭的邏輯，跟EUV就是比較短波的光，沒什麼困難的 12/07 13:41
→ faniour11樓概念有什麼兩樣 12/07 13:41
→ faniour12樓根本也不用什麼ML, 你要有評估機台的話平常做的DOE 12/07 13:43
→ faniour13樓就夠了 12/07 13:43
就有點不一樣的反應機制，做出能反應的應該還行
難的是能做到符合High pitch或是crtical layer的光阻
評估Tool 材料商買不起，小廟供不了大佛
→ faniour14樓原料純是一回事，做成高分子是另一件事。分子量中 12/07 13:52
→ faniour15樓心值、分子量分布要做到幾個標準差內，能穩定的做 12/07 13:52
→ faniour16樓到多窄，配方的生產準度有多高，還有無塵室有多潔淨 12/07 13:52
→ faniour17樓通通影響最後產出。做出來了誰要陪練？有實績線上也 12/07 13:52
→ faniour18樓不一定敢換，沒實績的那根本是鬧笑話。 12/07 13:52
對應不同layer有很多配方，大家都是要搶first source啦
ISNAKEI19樓概念很簡單 做很難 聚合過程要保持均勻就很難了 12/07 14:04
→ sc120樓要做進口替代也是當局出來當召集人再加稅排擠進口 12/07 14:35
wtl21樓其實EDA也一樣 軟體做出來半導體廠不跟你合作認證也 12/07 14:53
→ wtl22樓沒用 想當半導體供應商也沒那麼簡單 12/07 14:54
victor2183523樓專業 12/07 15:59
→ faniour24樓不同製程光阻需要的感度跟穿透深度，跟舊世代的光 12/07 18:27
→ faniour25樓阻差異又不是一點點，不是能反應就還行，深寬比、耐 12/07 18:27
→ faniour26樓蝕、模數、直線或挖孔的特性也差蠻多的，這樣子能 12/07 18:27
→ faniour27樓當差不多的話，那5或3奈米製程跟22奈米也是差不多 12/07 18:27
→ faniour28樓的概念啊，不同的那一點點就是量產跟嘴炮的差別。 12/07 18:27
AxerBlizzard29樓光阻的光化學雖然是照光交聯，但其實其背後光化學 12/07 18:52
→ AxerBlizzard30樓很複雜，光一個OXE-01的光反應文獻都尚未有定論， 12/07 18:52
