今天有去面試某“晶圓重生”的公司職缺，主管介紹他們是乾蝕刻，其中有用到HF氣體，
因為她說她機台有半自動，晶圓蝕刻完，腔體會purge 乾淨，用夾具把晶圓夾出，只要不
要亂摸蝕刻完晶圓片，就不會有腐蝕危險，因為她說不用穿防護裝（帶手套護目鏡就好）
，所以我問一下各位意見
謝謝
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[請益] 乾蝕刻製程
工作
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今天有去面試某“晶圓重生”的公司職缺，主管介紹他們是乾蝕刻，其中有用到HF氣體，
因為她說她機台有半自動，晶圓蝕刻完，腔體會purge 乾淨，用夾具把晶圓夾出，只要不
要亂摸蝕刻完晶圓片，就不會有腐蝕危險，因為她說不用穿防護裝（帶手套護目鏡就好）
，所以我問一下各位意見
謝謝
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a13791樓所以就是表面還是有HF的意思嗎... 10/24 15:55
可能會有
doverdover2樓依照法令，確實不用穿防護衣沒錯 10/24 15:58
如果腔體可以purge乾淨，不會洩漏，我是不怕，反正要戴手套夾晶片
Yishanhuang3樓氣體可以完全purge乾淨的話，ALD就沒用啦 10/24 16:09
→ Yishanhuang4樓wafer表面還是會附著，不能直接摸 10/24 16:10
請問要戴那種手套？乳膠？耐酸鹼手套？
ccccccrex5樓絕對不會purge乾淨,看過etch設備開chamber都要戴 10/24 16:42
→ ccccccrex6樓豬鼻子 10/24 16:43
→ VSshow7樓看來你不懂HF多屌喔！ 10/24 16:44
→ VSshow8樓記得保險保好保滿，然後絕對要照公司規定，免得你發 10/24 16:45
→ VSshow9樓生工安意外公司可以逃避責任 10/24 16:45
→ VSshow10樓這主管也腦，乾淨=0 這種話敢講 10/24 16:47
因為我是有點懷疑，我知道HF的威力，會死人的，因為晶圓片上會有，那麼腔體就會有。
請問有手動夾晶片的？如果腔體是再chamber內，有防護，應該是ok的。
如果要開chamber，不用穿防護衣嗎？
yellow362111樓機台沒有robot夾到foup裡面？ 10/24 17:20
他們目前手動機台，試製轉量產中
因為蝕刻完晶片，還要夾出來，那不就是要開腔體嗎？這樣不是HF會跑出來，而且還要目
檢（我不知道目檢那關的晶片到底是否有洗過了）
→ sc112樓HF放心 聞到會讓你重生重新投胎 做溫拿 不會上電視 10/24 17:55
Madao014913樓應該要inline 接到wet clean完再拿才對吧 10/24 17:56
Madao014914樓如果這樣可以直接拿我也是醉 10/24 17:58
他可能流程講的沒有很完整吧，不過如果有wet clean，那就沒有HF。
→ bnn15樓手動操作機械臂送到cassette吧 10/24 18:22
→ bnn16樓為啥你會需要開腔體 有loading chamber和working 10/24 18:22
→ bnn17樓不過學校級無塵室purge完鑷子去夾 聽起來好像正常 10/24 18:25
→ bnn18樓purge反正都是多個cycle 其實都是ppm^n次 看設定 10/24 18:26
→ bnn19樓然後對於這個 防護衣沒用 它是氣體 不是防潑灑 10/24 18:29
我不確定是自己夾嗎？因為他說要帶手套啊
yellow362120樓反正就戴個兩層手套，熱一點總比灼傷好 10/24 18:57
→ 21樓總比骨頭被吃掉 10/24 19:02
popileds22樓要帶防毒面具，不然健檢你就知道 10/24 19:05
→ popileds23樓一堆人都是中毒 10/24 19:05
如果有進去工作，如果真的需要開腔體拿晶圓片，我在跟他們要mask。
ian4136024樓purge可以乾淨，設備PM就不用全副武裝了 10/24 19:24
→ ll223344556625樓重新找吧 10/24 19:59
ijk126樓溼蝕刻比較爽 也有HF 只是是液體 給你參考 10/24 20:12
ccc095046727樓命比較重要 10/24 20:14
→ WilliamLFY28樓一堆人拿命去賠都還不知道老闆在後面數錢 10/24 20:19
不過他說他們HF用量非常少，一小罐用一年
VSshow29樓跟HF有關的薪水也沒多高，勸你沒選擇再去然後準備找 10/24 21:19
→ VSshow30樓下一份 10/24 21:19