求線上專業人員（目前小弟是研究生）
小弟研究背電極 光罩
目的是：在掃描電容顯微術中，背電極的面積大小會影響得到的微分電容訊號
那現在 9mmx9mm的光罩投影到晶背上，要用g-line還是I-line？ （看了幾份文獻都沒提
到）工程師就說問指導老師，指導老師說問工程師
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[請益] 要用iline or gline
工作
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求線上專業人員（目前小弟是研究生）
小弟研究背電極 光罩
目的是：在掃描電容顯微術中，背電極的面積大小會影響得到的微分電容訊號
那現在 9mmx9mm的光罩投影到晶背上，要用g-line還是I-line？ （看了幾份文獻都沒提
到）工程師就說問指導老師，指導老師說問工程師
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→ wzmildf1樓那你不會試看看？ 10/21 15:57
Vinurpe2樓當然是EUV 跟樓下拿阿斯麥採購連絡電話 10/21 15:58
nanpolend3樓太難了超出自身專業太多得問內行的 10/21 16:08
kyle52414樓gline 和 i line 先解釋一下是啥好嗎 10/21 16:09
flower425樓自己去算解析度啊== 10/21 16:13
→ lstn6樓主要看你的pattern和有什麼設備吧 10/21 16:14
sl6137樓看光阻吸收波段吧，不負責回答 10/21 16:14
→ sampo101028樓看你的光阻材料啊 10/21 16:15
→ flower429樓誰知道你線寬多少== 10/21 16:15
Vinurpe10樓436跟365你比較喜歡哪個數字? 10/21 16:17
Vinurpe11樓認真回, 理論上波長越小, 解析度越佳,但DOF會下降 10/21 16:19
→ Vinurpe12樓你還是要評估啦, 我是不太相信paper都沒寫實驗條件 10/21 16:19
→ Vinurpe13樓你也可以寄信去問通訊作者 10/21 16:19
→ sc114樓用G-line去輪班就知道了 10/21 16:47
transletum6415樓用immersion 閉著眼睛曝光就好 10/21 16:55
premise16樓答案很明顯 是gline 10/21 17:12
venomsoul17樓Line改這麼多版本了喔，趕快來下載 10/21 17:17
→ cefywo18樓9x9的光罩跟要用I還g有什麼關係啊？認真不懂？爽用K 10/21 17:39
→ cefywo19樓rF或ArFi也行吧看pattern跟光阻不是嗎？ 10/21 17:39
XperiaZ20樓getline 10/21 17:39
depen21樓看圖案線寬大小決定用那個 10/21 17:54
Cinderlin22樓作業自己寫啦 10/21 18:25
wisebani23樓建議直上GTline,比較超值 10/21 19:05
Mbappe1024樓問就是gline 10/21 19:09
ijk125樓當然是high NA EUV 10/21 19:18
hihowareyou26樓G point 10/21 20:30
→ bensonliu27樓G 10/21 21:43
jtsu522328樓顯微鏡手刻即可 10/21 21:56
onomedu29樓皆可使用 10/21 22:08
abcdyy30樓ST line 也不錯 考慮一下 10/21 23:43