中芯5奈米沒了？ 台積大老打臉外界預測
工商時報 數位編輯 2022.01.01
大陸晶圓代工巨頭中芯遭美方打壓，14奈米相關設備取得困難，目前製程似乎停留在28奈米
製程，反觀台積電早已進入極紫外光（EUV）製程世代，7奈米、5奈米傳捷報，但沒有EUV機
台就不能做先進製程嗎？台積電前研發副總、浸潤式微影之父林本堅則認為，即使沒有高階
昂貴的EVU，中芯以現有設備至少做到5奈米應該沒問題，打破外界只停留28奈米的刻板印象
。
外電早前引述消息來源指出，拜登政府考慮對中芯國際實施更嚴厲的制裁，以防大陸獲得美
國關鍵技術。一旦禁令通過，中芯的28奈米、40奈米及更成熟製程設備都會被列入管制清單
中。但因美國商務部提出質疑，認為此舉也會傷害美企利益，因此美方暫時擱置阻止向中芯
出售更多美國技術。
中芯聯合首席執行長梁孟松之前曾透露，中芯28奈米、14奈米、12奈米以及N+1製程都進入
規模量產，開發中的7奈米製程也已經完成，預計2022年就可以投入風險量產，是否仍有機
會取得設備來供應晶片，將成外界關注焦點。
目前在半導體製造產業中，只有台積電、三星等導入EUV先進製程技術，並進入規模量產，
台積電在7奈米、5奈米告捷後，預計3奈米在2022年下半年量產，而受到美方制裁的中芯仍
停留在14奈米以上節點，甚至是28奈米成熟製程。
EUV設備是進入先進製程的關鍵，但沒有EUV的話，尖端技術就無法推進嗎？Digitimes科技
網報導，台積電前研發副總林本堅認為，微影技術及產能的投資成本很高，以中芯來說，不
一定要用到高階昂貴EUV機台，以現有設備應該能做到5奈米製程，但技術研發是否到位很重
要。這番話給中芯打了一劑強心針，也打破外界認為中芯將在28奈米止步的預測。
台積電3奈米今年下半問世，2奈米也預計2025年量產，不過林本堅表示，3奈米或以下先進
製程很花錢，相當吃力不討好，還是有很多方法可以做，先進封裝技術是方法之一，雖然不
一定省錢，卻能提升效能，台積電已超前部署，延聘更多研發人才，未來不一定只能朝製程
微縮之路前進。（中時新聞網 吳美觀）
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→ SWATMAN1樓工欲善其事 必先利其器。這就跟 手遊花不花錢一樣， 01/02 14:26
→ SWATMAN2樓差距只會越來越遠... 01/02 14:26
saygogo3樓林本堅應該是有所本,也許DUV真的可以到台積電初代5 01/02 14:31
→ saygogo4樓奈米的水準,但是可能這樣子做毛毛角角的東西太多了 01/02 14:31
→ saygogo5樓,學習曲線可能會太長,還不如直接EYV拿來用比較快. 01/02 14:31
→ saygogo6樓中芯反正是拿不到EUV了,五奈米對他們來說也沒有時 01/02 14:35
→ saygogo7樓間壓力了,也不用擔心學習曲線的問題就用DUV去慢慢 01/02 14:35
→ saygogo8樓打磨,搞不好牛年馬月真的被他們做到可量產水準 01/02 14:35
stoke40969樓良率 01/02 14:45
kyle524110樓就光罩多曝幾次而已～ 當然良率會比較低。因為很難 01/02 14:45
→ kyle524111樓對的準 01/02 14:45
→ kyle524112樓不過做小一點的晶片或許還是有市場 01/02 14:46
fabdawn13樓做得出來也要看成本多少.. 01/02 15:04
Alderamin14樓就是算過N5成本用EUV當主力量產更省錢 在ramp up N5 01/02 15:07
→ Alderamin15樓才採購大量EUV 01/02 15:07
roger216樓或許真的可以做 但是成本跟良率到底行不行 就另外 01/02 16:17
→ roger217樓一回事了 01/02 16:17
GameGyu18樓就良率啊，重點是就是直接打到中芯的要害，總不能 01/02 16:44
→ GameGyu19樓說直接自己不行 XD 01/02 16:44
→ FTICR20樓真的那麼好做的話，三星需要從N7就開始用EUV嗎? 01/02 18:33
PoloHuang21樓不用euv的話那節點良率應該很差 01/02 19:36
pinkjenny22樓SAQP慢慢做啊 bin fail也是四倍 01/02 19:57
joefaq23樓看Intel 10nm用DUV搞這麼久就知道這個東西只是有可 01/02 20:15
→ joefaq24樓行性 但是靠北難做 01/02 20:15
maikxz25樓F18 EUV數量之驚人看看某公司就知道 <O> 01/02 20:54
apple12377326樓那是GG可以 問題是沒有本堅大神跟經驗 幾乎不可能啊 01/02 22:00
trueformosan27樓下面一句，只是良率低的可憐 01/02 22:21
dragonking0228樓做得到但良率....... 01/02 23:36
dakkon29樓這話真狠，也就是說你中芯做不到就是廢的意思 01/02 23:41
drkkimo30樓中時 01/02 23:44
