請問各位做半導体的先進
薄膜製程中，量測厚度的儀器
一般測厚儀 ，是用X-ray 和α step是嗎?
金屬(Ni/Cu...)和非金屬(SiO2、光阻)用的量測儀器有不同嗎?
國內有那些推薦的廠商?
謝謝幫忙告之!
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[請益] 半導体 薄膜量測儀器
工作
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請問各位做半導体的先進
薄膜製程中，量測厚度的儀器
一般測厚儀 ，是用X-ray 和α step是嗎?
金屬(Ni/Cu...)和非金屬(SiO2、光阻)用的量測儀器有不同嗎?
國內有那些推薦的廠商?
謝謝幫忙告之!
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neil06111樓KLA… 01/07 14:09
→ ijk12樓作業自己做 01/07 14:41
hmtsung3樓J.A.Woollam 01/07 14:46
→ say335204樓能力好的，用文具店15公分就太夠了。 01/07 14:55
→ crayon565樓我都用厚薄規 一層一層去比出膜厚 01/07 14:56
Saynai6樓橢偏儀廠商… 01/07 14:58
→ n00bmaster7樓我都拿游標卡尺量 01/07 15:13
matsuzuki188樓橢圓偏振儀 自己功課自己做 01/07 15:15
ehuman9樓金屬:階差量測, 光阻:膜厚量測儀器 01/07 15:35
kyle524110樓XRR問題就是速度慢，雖然最準確。一般都是橢圓儀加 01/07 15:44
→ kyle524111樓上機器學習，沒機器學習基本上你也只是拿到一堆光 01/07 15:44
→ kyle524112樓譜不知道要幹嘛而已 01/07 15:44
→ cyteric13樓Semilab 01/07 15:47
ssmmll14樓XRR可以量金屬，解決可見光穿透深度的問題。橢圓儀 01/07 17:27
→ ssmmll15樓可以測厚，也可以量Profile不一定要用machine lear 01/07 17:27
→ ssmmll16樓ning，RCWA計算在很多地方還是很好使用的。XRF XPS 01/07 17:27
→ ssmmll17樓METAPULSE 各有適合的應用，甚至電性厚度的量測都 01/07 17:27
→ ssmmll18樓有，看人會不會用。 01/07 17:27
ssmmll19樓能夠照著儀器的特性去解決使用者的需求，才是最重 01/07 17:29
→ ssmmll20樓要的 01/07 17:29
→ wzmildf21樓老經驗的製程調機都用舔的 01/07 17:31
→ binco22樓我都叫廠商幫量 01/07 18:27
Aixtron23樓橢偏是高度技術活，除非有人已經幫您弄好recipe了！ 01/07 19:35
→ Aixtron24樓不計成本TEM和FIB也可以用啊 XD 01/07 19:37
→ Aixtron25樓有些用AFM也可以 01/07 19:38
→ douge26樓橢偏儀了解原理不就簡單到不行嗎-.-a 01/07 20:08
→ douge27樓不就簡單的條紋 了解需要一個小時嗎? 01/07 20:09
ssmmll28樓膜厚妥偏原理還好，但是根據tune dispersion和實際 01/07 20:13
→ ssmmll29樓應用也是需要考慮，包含Test pad設計。模擬軟體如 01/07 20:13
→ ssmmll30樓果主管願意，廠商也會教一些基本功，可以靠著大量 01/07 20:13