晶圓廠石英爐管震破 1套相當1部賓士車價格
〔記者洪友芳／新竹報導〕花蓮強震，衝擊北中南半導體各晶圓廠石英爐管紛傳出被震破
，更換石英爐管與石英相關產品需求大增。供應鏈傳出，台積電、聯電、美光等晶圓廠，
向供應商拉貨石英爐管，甚至有的自派車輛前往石英廠載貨，顯見晶圓廠急迫與唯恐缺貨
。而高階石英爐管單價達400萬元，相當於一部賓士進口車價格，業界估計，石英爐管震
破，裡面裝載上百片晶圓也常會跟著破損，石英爐管震損將使營運成本增加。
4月3日花蓮發生芮氏規模達7.2地震，為過去25年來最強的地震，新竹、龍潭和竹南等科
學園區最大震度達五級，台中和台南科學園區的最大震度為四級。半導體業指出，此次對
北中南半導體生產製造多少都造成影響，越往北越嚴重，竹科、桃園晶圓廠與封測廠紛受
到影響，8吋、12吋晶圓廠與部分封測廠震損相對嚴重。
供應鏈傳出，半導體業晶圓廠，從地震發生後，因無塵室擴散製程的石英爐管被震破，紛
向供應商拉貨石英爐管，石英晶舟、石英環等元件也損壞，需要清理與更換，平常久久才
更換卻突然需求激增，甚至有的自派車輛前往石英廠去載貨，顯見晶圓廠需求孔急與唯恐
缺貨。
供應鏈指出，石英元件相當貴，「一套高階石英爐管單價達400萬元，相當於一部賓士進
口車價格」，業界估計，晶圓廠震損也將多少增加營運成本。
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